该专业是物理学、电子学、材料科学、集成电路设计制造等多个学科和超净、超纯、超精细加工技术基础上发展起来的一门新兴学科。坚持理工结合，重视基础理论，强调实践技能，培养微纳电子材料-器件-电路-版图-工艺-系统的综合设计与研究能力，能在微电子科学与工程领域从事研究、设计、开发和管理的高级人才。